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Parc Laser
Laser à colorant TDL+ (Quantel) pompé par un laser Nd:YAG nanoseconde doublé ou triplé (Spectra-Physics, Pro-250) délivrant 120 mJ à 600 nm, avec un taux de répétition de 10 Hz. le faisceau en sortie du laser à colorant peut ensuite être doublé et triplé.
Oscillateur Paramétrique Optique (MOPO, Spectra-Physics) pompé par un laser Nd:YAG nanoseconde injecté et triplé en fréquence (Spectra-Physics, Pro-250) délivrant 60 mJ à 500 nm, avec un taux de répétition de 10 Hz.
OPO large bande (Basiscan, GWU) pompé par un laser Nd:YAG triplé (Spectra-Physics, Indi), avec un taux de répétition de 20 Hz, délivrant 30 mJ à 600 nm.
Midband OPO (Opolette, Opotek), pompé par un laser YAG nanoseconde (Quantel Centurion), avec un taux de répétition ajustable de 1 à 100 Hz, délivrant 2 mJ à 600 nm. Le faisceau de sortie peut être doublé en fréquence pour aller jusqu’à 210 nm.
laser Nd:YAG (Continuum, Surelite I), avec un taux de répétition de 10 Hz délivrant 200 mJ à 532 nm, 100 mJ à 355 nm, 70 mJ à 266 nm et 20 mJ à 213 nm.
laser Nd:YAG (Innolas, Spitlight 600), taux de répétition de 50 Hz, délivrant 260 mJ à 532 nm et 150 mJ à 355 nm.
laser excimère F2 ou ArF (Neweeks), taux de répétition ajustable de 1 à 300 Hz, délivrant jusqu’à 1 mJ à 157 nm et 5 mJ à 193 nm.
chaîne laser VUV complète (processus de mélange à 4 ondes dans un jet de gaz rare), taux de répétition de 20 Hz, délivrant un rayonnement entre 50 000 et 140 000 cm-1 (6-17 eV) ; résolution spectrale environ 10-2 cm-1.